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TEC溫控系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹 ETS-TEC-150是一款應(yīng)用于光電器件測(cè)試探針臺(tái)的6英寸晶圓溫控系統(tǒng)，溫度范圍為-20℃到100℃，主要由變溫卡盤(pán)和溫度控制器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性，廣泛應(yīng)用于6英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析。
關(guān)鍵特征 Ø帕爾貼元件快速降溫 Ø溫度范圍為-20℃到100℃ Ø 模塊化系統(tǒng)，適合單獨(dú)測(cè)試的需要 Ø冷卻劑占地面積小，節(jié)省空間 Ø兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺(tái) Ø可集成全套的軟硬件于一體 應(yīng)用場(chǎng)景 ØCascade 探針臺(tái)溫控升級(jí) ØMPI 探針臺(tái)溫控升級(jí) Ø全自動(dòng)探針臺(tái)高低溫升級(jí) Ø手動(dòng)探針臺(tái)溫控升級(jí) 規(guī)格參數(shù)
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